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詳(xiáng)情介(jiè)紹(shào)
氫氣(qì) (H2)
項目(mù)名稱 | 純度指標(biāo)(%) | ||
氫氣(qì) | ≥99.9999 | ≥99.999 | |
雜質(zhì)含量(ppm)
| 氧(yǎng)氣(qì)(O2) | ≤0.2 | ≤1 |
水(H2O) | ≤1 | ≤3 | |
氮氣(qì)(N2) | ≤0.4 | ≤5 | |
一(yī)氧(yǎng)化碳(CO) | ≤0.1 | ≤1 | |
二(èr)氧(yǎng)化碳(CO2) | ≤0.1 | ≤1 | |
甲烷(CH4) | ≤0.2 | ≤1 | |
包裝 :採用40L 、49L鋼(gāng)瓶(píng)充裝,也可根(gēn)據客戶需要(yào)分裝到(dào)8-10L的氣(qì)瓶(píng)中。
用途 :半導體製造用平衡(héng)氣(qì) ,蝕(shí)刻氣(qì)、標(biāo)准氣(qì)、零點氣(qì)、校正氣(qì)、熱氧(yǎng)化 、外延、擴散(sàn) 、多晶硅 、鎢化 、離子注(zhù)入、氣(qì)體燃料(liào) 、石油(yóu)精煉等 。
理化性質(zhì): 有窒息性 ,有易燃易爆性。它是世界上已知(zhī)的密度小(xiǎo)的氣(qì)體,只有空氣(qì)的1/14,即(jí)在0 ℃時 ,一(yī)個標(biāo)准大(dà)氣(qì)壓下(xià),密度為0.0899 g/L 。
注(zhù)意事項:因為是易燃壓縮氣(qì)體 ,故應(yīng)儲存於(yú)陰(yīn)涼 、通風的倉間內 。倉內溫度不(bù)宜超過(guò)30℃ 。遠離火種、熱源(yuán)。防止陽光直射(shè) 。應(yīng)與氧(yǎng)氣(qì)、壓縮空氣(qì) 、鹵素(氟氣(qì)、氯(lǜ)氣(qì) 、溴)、氧(yǎng)化劑等分開(kāi)存放 。切忌混儲混運。儲存間內的照明(míng) 、通風等設施應(yīng)採用防爆型 ,開(kāi)關(guān)設在倉外 ,配備相(xiàng)應(yīng)品種和(hé)數量的消防器(qì)材。禁止使用易產(chǎn)生火花的機械設備工具 。驗收時要(yào)注(zhù)意品名,注(zhù)意驗瓶(píng)日期 ,先進(jìn)倉的先發用。搬(bān)運時輕裝輕卸,防止鋼(gāng)瓶(píng)及附件破損。